易损伤材料TEM制样？

一些化合物半导体例如InP这类材料在用氩离子减薄时会引入离子减薄损伤，影响样品观察。但是这些样品又很脆，很难用其它方法制样。之前调研过两种制样方法：低能氩离子束减薄与碘离子减薄。请问哪里可以找到相关的仪器？还请有经验的同学指导一下，像这种脆性易损伤样品制备还有什么其它方法？