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晶振片故障现象、原因及解决办法
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共2个回答
孟工,
2024-01-29回答
探头故障现象
、
原因
及
排除方法
1、
沉积期间厚度读数大跳变
a.
不良晶片产生
解决方案:
更换晶
片
b.
晶片接近其使用寿命
解决方案:
更换晶
片
c.
晶片支承座表面有杂物
解决方案:
用酒精或细砂皮清洗支承座
d.
来自溅射源的频率干涉
解决方案:
检查接地,仪器远离溅射
源
2、
沉积期间晶体停振,但晶片寿命未到
a.
晶片被来自镀膜源熔化材料小熔
滴撞击
解决方案:
镀膜起始阶段用档板遮蔽
后移开
b.
不良晶片
解决方案:
更换晶片
c.
晶片支承座内腔表面有杂质
解决方案:
清洗
3
、晶体在真空中振荡,单暴露空气后停振
a.
晶体接近使用寿命,暴露空气
导致
薄膜氧化而引起薄膜压力增加
解决方案:
更换晶片
b.
晶片积累了过多水分
解决方案:
暴露空气之前关掉探头冷却水
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