硫化镱是一种金属镱的硫化物,广泛应用于电子领域。它可以作为制备能够通过直流溅射溅镀透明薄膜的导电硫化物靶材的材料。金属镱是一种银灰色的金属,具有延展性和较软的质地。在室温下,镱会缓慢地被空气和水氧化。镱属于变价稀土元素,除了通常呈正三价状态外,也可以呈现正二价状态。由于这种变价特性,制备金属镱常采用还原蒸馏法,而不是电解法。通常使用金属镧作为还原剂,利用镱金属的高蒸汽压和镧金属的低蒸气压之间的差异进行还原蒸馏。
CN201410217491.5提供了一种制备能够通过直流溅射溅镀透明薄膜的导电硫化物靶材的方法。该方法采用以下技术方案:导电硫化物靶材以二价阳离子硫化物为主成分,并掺杂有重量百分比为0.1%~10%的三价阳离子硫化物。二价阳离子硫化物可以是硫化锌、硫化镉、硫化铍、硫化镁、硫化钙、硫化锶、硫化钡等。三价阳离子硫化物可以是硫化硼、硫化铝、硫化镓、硫化铟、硫化钪、硫化钇、硫化镧、硫化铈、硫化钕、硫化铕、硫化钆、硫化铒、硫化镱等。制备导电硫化物靶材的方法包括成型、烧结和后处理等步骤。
[1]CN201410217491.5一种导电硫化物靶材及其制备方法