四甲基氢氧化铵（TMAH）是一种无色结晶，常含有结晶水。它具有类似胺类气味，熔点在68-71℃之间。TMAH极易溶于水，溶解时放热，水溶液呈强碱性，具有滑腻感。此外，TMAH还具有吸潮性，在空气中能迅速吸收二氧化碳。当温度达到130℃时，TMAH会分解为甲醇和三甲胺。通常使用10％、25％水（或醇）溶液和含结晶水化合物。
在不超过分解点的温度下，TMAH具有稳定性和强碱性。超过分解点时，TMAH会迅速分解为三甲胺和甲醇。催化完毕后，TMAH很容易除去，不留下任何残渣，对有机硅产品无污染。因此，TMAH被称为"暂时催化剂"。在有机硅方面，TMAH被广泛应用作为二甲基硅油、苯甲基硅油、有机硅扩散泵油、无溶剂有硅模塑料、有机硅树脂硅橡胶等的催化剂。在有机硅片生产中，TMAH常用作计算机硅片面用光亮剂、清洗剂和触刻剂等。
1、TMAH被广泛用作集成电路（IC）行业、液晶显示器行业（TFT-LCD）和光电子(LED)行业的显影液。
传统的显影液使用无机碱KOH，但随着科技的进步，对化学品杂质的要求越来越苛刻。TMAH作为显影液的主要成分，具有强碱性且不留下金属离子。它在加热后可以分解成三甲胺气体和甲醇气体，不留下任何痕迹。因此，TMAH取代了无机碱，成为集成电路、液晶显示器和光电子行业中最常用且性能最优的显影液。
2、TMAH也可以用作清洗剂，适用于PCB等电子行业。它具有良好的清洗效果且无残留。
3、TMAH还可以作为工业用催化剂，特别是相转移催化剂。相转移催化剂可以帮助反应物从一相转移到能够发生反应的另一相中，从而加快异相系统反应速率。TMAH作为季铵碱，在有机硅和橡胶防老剂领域是一种高效催化剂。
危险性类别：第8.2类碱性腐蚀品
侵入途径：吸入、食入、经皮吸收
健康危害：TMAH的健康危害主要分为两部分。一部分是OHˉ基，具有强碱性和腐蚀性，会造成皮肤和黏膜组织灼伤。另一部分是TMA+基，类似毒螺类神经毒素，会抑制呼吸肌肉群，导致呼吸肌肉停止、心跳减缓，严重情况下可能导致脑部缺氧死亡。吸入、食入或皮肤大面积接触TMAH后，会在15-30分钟内产生急性中毒，甚至呼吸停止死亡。
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