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磁控溅射仪显示屏操作界面点击没反应?

今天中午用磁控溅射仪镀膜还好好的,现在再去镀膜时,开机会有报警,然后操作界面点击进行操作时机器没有反应,是什么问题?

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机器重启,如果还不行,问问厂家
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