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harrick使用求教！？

大佬们求指教啊~我们课题组有一台harrick的等离子体清洗机，以前只是用做真空等离子体清洗，什么气体都不接~然后我现在要用harrick做氧等离子体清洗，买的气瓶自己接的氧气，发现怎么调气压都出不来氧等离子体辉光放电~只会出现以前的真空等离子体放电~希望能得到大佬们的帮助~感激不尽~连接方式和结果如图：


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共3个回答
你愿讲我便听，工程设计 2019-08-24回答
你这个机器怕是没有APC气压控制？需要一边送氧气一边控制气压（pump抽走废气）
PS 氧气等离子体在几个到几百mTorr都是粉色，你这个太红了，气压或者成分不对
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ξ微醺°ξ微醉°，给排水工程师 2019-08-24回答
看颜色应该是氧气的辉光颜色 粉红色。需要控制气体压力，

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顾凉.，设备工程师 2019-08-24回答
辉光颜色是空气或者氮气的样子。可能是系统有漏气，或者因为泵的抽速不行，氧气流量无法调大。

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