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沉积薄膜时偏压的设置?

在CVD中，产生等离子体后，假如气体流速沿着水平方向，在垂直方向加上负偏压会有效果吗？其与水平方向加偏压的方式区别是什么了？
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共4个回答
再会，工艺工程师 2019-05-20回答
偏压的作用是什么？
提高等离子体的轰击作用。

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青衿青佩，工艺专业主任 2019-05-20回答
偏压的作用是什么？

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夜店男神射全，化工主管 2019-05-20回答
您好，我是北京化工大学的，想借用下贵实验室的CVD设备可以吗？
北京科技大学的吕返修课题组也是做金刚石的，离你那也近，可以去询问一下。

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メSomnus丶せ，设备工程师 2019-05-20回答
您好，我是北京化工大学的，想借用下贵实验室的CVD设备可以吗？
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