寻求代工PVD制备TiN电极？

我们的需求如下:
1 TiN生长在4寸SiO2片上，厚度约为50nm或者100nm
2 均匀性5%左右
3 电阻率小于50uΩ·cm
4 粗糙度小于1nm
最看中的是电学性能。请问哪里有成熟的工艺？我们花钱做。也可联系电话15255603423，qq1175832149。。
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