原子发射光谱中的一种，电感耦合等离子体(icp)是目前用于原子发射光谱的主要光源。icp具有环形结构`温度高`电子密度高`惰性气氛等特点,用它做激发光源具有检出限低`线性范围广`电离和化学干扰少`准确度和精密度高等分析性能. icp还可以作为原子化器,如以空心阴极灯为光源,icp为原子化器的原子荧光光谱仪.这类仪器不采用单色器,以icp为中心,在周围安装多个检测单元(每一元素配一个检测单元),形成了多元素分析系统.icp作为原子化 器最大的优点在于原子化器具有很高的温度,多种元素都可得到很好地原子化,散射问题也得到的克服.由计算机控制,灯电源顺序地向各检测单元的空心阴极灯供电(2,000次/秒),所产生的荧光由相应的光电倍增管检测,光电转换后的电信号在放大后由计算机处理,并报出各元素的分析结果.不过,值得提出的是,以icp为原子化器的原子荧光光谱仪对难熔元素的测定灵敏度不高. icp光谱仪是由icp光源、进样装置、分光装置、检测器和数据处理系统组成。其中icp光源由高频发生器、石英炬管和高频感应线圈组成；进样装置是由蠕动泵（一些仪器直接利用同心雾化器提升）、雾化器和雾室等组成；分光装置由入射狭缝、分光元件、若干光学镜片组成及出射狭缝（全谱直读型没有）；检测器现在用的主要是光电倍增管和固体成像器件（目前主要有ccd和cid）；数据处理系统主要有计算机、数据通讯版和仪器控制及数据处理软件组成。
