氮气、氩气在多晶硅生产中的运用及用量.请帮忙看下吧？-盖德问答-化工人互助问答社区

共1个回答

时间以南慕城，工艺专业主任 2018-03-13回答

氮气的消耗量是跟你的工艺设计、用途有关一般年产一千吨的多晶硅，我个人的经验，消耗每小时在500～700方，主要是用在尾气、置换气、压料气、擦洗气氩气的消耗主要是硅芯方面，我没仔细研究不便随便说，还是和产能有关。氮气、氩气耗量在前期的工艺合同里都会提到，可以查到

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