大家好!
由于是新人,很抱歉没有什么金币,如果交流ok的话,我们可以私下再交流。
公司这边由我负责上游排放的尾气处理,
废气主要是一些常用的刻蚀气体(
硅烷、磷烷等),用的是pou设备,设备用到的处理工艺是plasma+喷淋的方式,
结果处理后出现很多粉尘,极其容易堵塞
排水管道,不定期拆开后就堆积了很多,本来50的水管,最后只有几公分粗了,甚至设备里面的一些管路也会堵塞,造成较大的麻烦。
特来询问大佬,你们对于该废气处理,用的是什么设备和其工艺呢?有出现排水管路堵塞的情况吗,怎么控制解决的?
不甚感激!!!
中秋节快乐!!!