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FTO衬底的耐高温程度怎么样，大约可以高到几百?

目前打算用FTO(F:SnO2)衬底来生长一些TCO，高温可能结晶性更好，但是据说FTO在高温条件下导电性能会变差，查阅了很多文献不知道FTO与温度之间到底是怎样的关系。。
有了解的大神可以交流一下，或者有相关文献可以推荐
E-mail：zengliu@bupt.edu.cn或者QQ:1377124121,Thanks.
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共8个回答
Grübchen，设备工程师 2019-09-15回答
你退火的操作是什么样的呢？
退火炉in air 直接升温

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傀儡，库房管理员 2019-09-15回答
我分别用550&600试了试，回头看看
...
我买的FTO玻璃在500度快速退火下导电膜起皱褶，不明白
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病态娇女，工艺专业主任 2019-09-15回答
500-600度
我分别用550&600试了试，回头看看

15 评论 0 举报
Emoton.，设备维修 2019-09-15回答
你退火的操作是什么样的呢？
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大圣仙子，设备维修 2019-09-15回答

退下

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树敌，化工研发 2019-09-15回答
你退火的操作是什么样的呢？
没有退火，直接高温生长的
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∮我来自1997，工艺专业主任 2019-09-15回答
550怕就不行了

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薄荷冰糖，呵，销售 2019-09-15回答
我买的FTO玻璃在500度快速退火下导电膜起皱褶，不明白...
我们实验室这个测电学性能还能看，就是比较差，但是完全没有结晶现象。
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