材料科学

钨灯丝SEM看芯片形貌喷金问题？

大家好！
请教下。

下图这个是用场发射SEM看的一款芯片的断面，放大倍数10W，没有喷金。场发射的可以在低压下直接看不导电样品，不用喷金。

如果以后单位想买台钨灯丝的SEM（价格便宜。。），有的样品（Si基底，或者看光纤断面）如果不导电需要喷金，想问下喷金后如果也是10W倍是否就会看到金粒？金粒一般是多大的？是否会影响到形貌观察？
还是说，钨灯丝的可以不用喷金自己看？

谢谢～～～～

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共2个回答

时光少年蓝，设备维修 2019-08-21回答

一般喷金不影响的，场发射的分辨率都很难看出晶粒的

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鹊巢.，设备维修 2019-08-21回答

看金颗粒大小了，我用场发射拍5万倍就观察到金颗粒了。另外，钨灯丝可以放大到10万倍吗？一般供应商标称的放大倍数(分辨率)，在测试过程中由于样品、制样、操作方法等因素影响，实际可达到的最大放大倍数都有一定的折扣。

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