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四氯化硅和三氯氢硅还...
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四氯化硅和三氯氢硅还原法生产多晶硅其最根本的反应机理 ...?
说白了,我认为在
多晶硅
还原炉
中,
四氯化硅
应该先被还原成三氯氢硅,再由三氯氢硅进一步还原成硅。
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共2个回答
林南路北,自控设计工程师
2018-08-04回答
呵呵,你说的就是四氯化硅氢化工艺。
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鸿雁.,给排水工程师
2018-08-04回答
你说的是四氯化硅和三氯氢硅混合进入还原炉反应吧,其还原电耗肯定高于三氯氢硅还原电耗,不过由于少了氢化,因此关键还是需要看综合电耗。不过从长远看,我认为这类尝试没什么优势
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