实验室主要仪器？

原子力显微镜、白光干涉仪、拉曼光谱仪、X射线衍射仪、荧光光谱仪、综合性物性测量系统、扫描电镜、聚焦离子扫描电子显微镜、场发射透射电子显微镜、台阶仪、应力分析仪、电子束蒸发镀膜系统、紫外光刻机、激光直写等
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