请问IGZO晶体管出现这种曲线是什么情况??

在300nm硅氧片上通过溶胶凝胶法制备IGZO的溶胶，经过3500转旋涂、150度烘干、300度退火后直接在上边做源漏电极，测试特性曲线的时候出现这种曲线是哪里有问题啊


怀疑是栅漏电流Ig太大了，但是在不加Vd的时候测Ig-Vg时很小，加上Vd就变得很大了。是需要做沟道图形化吗？但是看文献好多都不需要做这一步就有性能啊……