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蒸镀Al膜出现麻点凸起?

各位大佬,

我用蒸镀法在衬底表面镀一层铝膜,结果发现长出来的Al膜非常的粗糙,有肉眼可见的麻点凸起,我不知道什么原因造成的,谁能帮我分析分析?

感谢!

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应力太多了,温度控制,

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