磁控溅射样品的内应力消除问题？

首先得确定工艺内应力的来源。
是工艺过程中引入的，还是本身材料结构在重组成过程中形成的。
工艺引入的可以通过改进阴极设计，调整温升温降曲线，增加离子源等方式降低；如果是材料结构本身，可能需要引入新元素来降低应力。