二次元影像仪的精度目前都是用线性精度和重复精度去衡量。线性精度实际上是指仪器工作台运动过程中光柵尺的计数产生的阿贝误差，这类误差的大小主要取决于光柵尺的精度和仪器加工安装时的误差决定的。当然这类误差在软件的强大功能下是可以实现精度补偿的。
重复精度是指仪器工作台正向和反向运动到同一个点时光栅尺的技术误差，这类误差完全取决于光柵尺的重复精度及仪器的加工安装工艺了，是没法通过软件校准补偿的。
当然以上两种误差值并不能代表仪器的实际测量精度。影响仪器实际测量精度的因素很多，包括环境温度、湿度、震动，还有仪器本身的放大倍率，影像的清晰度、灯光的亮度、软件抓图的准确性及操作人员的人为误差等等。
