看文献“HDMS-treated Si wafer”求问是什么意思？

文献是讲几种聚合物对石墨烯的掺杂，中间讲到将未接触任何聚合物的石墨烯转移到“HDMS-treated Si wafer”上测拉曼。求问HDMS处理的硅片和普通方式清洗的硅片有什么不同？这里为什么要用HDMS处理的硅片？具体处理方式是什么？