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利用低压CVD法在金属衬底上合成六方氮化硼？

最近一直在用低压CVD法(管式炉)，想在铜箔上合成大面积单层hBN,，前驱体是氨硼烷，用加热带加热使其升华，用氢气和氩气的混合气携载到金属衬底上沉积，按照文献上试着烧了很多炉,也没长出来三角形的形状，，，希望得到这方面大佬的指点，。。求经验分享。

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共5个回答

无声情话无言，销售 2019-01-18回答

最近一直在用低压CVD法(管式炉)，想在铜箔上合成大面积单层hBN,，前驱体是氨硼烷，用加热带加热使其升华，用氢气和氩气的混合气携载到金属衬底上沉积，按照文献上试着烧了很多炉,也没长出来三角形的形状，，，希望得 ...
您好，我想用氮化硼薄膜做探测器，请问你是否得到了金属基氮化硼薄膜，厚度多少呢？

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柠檬初上，气化主操 2019-01-18回答

你烧一炉大约需要多少钱呀？
实验室资产，不需要钱。买回来原材料就行。

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辞唱—，设备工程师 2019-01-18回答

你烧一炉大约需要多少钱呀？

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鸿雁.，给排水工程师 2019-01-18回答

同请教

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绿里尐女，储运巡检员 2019-01-18回答

个人认为h-BN最好的晶粒是圆形其次是六角最后才是三角

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