原子层沉积（ALD）国外厂家？

求助各位朋友，有购买过国外原子层沉积设备的么？目前打算购买，查询了有OXFORD INSTRUMENTS  牛津仪器，   芬兰Beneq，芬兰Picosun，美国Kurt J. Lesker和美国ARRADIANCE公司等几家厂家。我们主要用于金属催化剂制备方面，请教各位有没有熟悉某个厂家的，求介绍。