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单晶硅(多晶硅)提纯工艺研究分析及改进?

单晶硅(多晶硅)提纯工艺研究分析及改进
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我们这儿的提纯工艺现目前是: 1.合成工序出来有一个粗精馏,用于除去大部分的金属等重杂质,然后一部分分离出高低沸液,另一部分(主要)进入粗tcs缓冲罐; 2.从粗精馏过来的粗tcs进入精馏工序,1,2#用于除去高低沸液,3#出精制tcs产品;5,6#对高低沸液进行提纯回收高低沸液中的氯硅烷返回1#;4,7,8#用于对粗stc进行提纯,从4#得到精制的stc产品。 主要改进: 1。后塔的塔顶蒸汽进入前一个塔的再沸器加热介质。比如说:2,3#的塔顶蒸汽出来分别到1,2#的再沸器,节约蒸汽的用量和塔顶冷凝器的制造成本; 2.合理规划,对设备的布置进行优化,这样可以有效的利用高度差,节省泵的投入费用; 现在初入门,有不妥之处多多批评!!
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