LPCVD氮化硅镀膜（做金属保护层）？

请问大家，有没有设备或生产线可以做LPCVD氮化硅镀膜？

提前声明：我的基底上有金属（金属为Pt），但是用了100nm的PECVD做保护（见图片）。

希望大家有了解的不吝留个线索，万分感谢！！

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湖北鑫鸣泰化学有限公司
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联系电话：17771791433 刘 产品名称：氮化硅 价格： 电询 主营产品：红霉素、丙烯酸甲氧基乙酯、5-氨基-1-戊醇、2-氯苯并噻唑、
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（克拉玛尔）上海紫铭试剂厂
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