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干法刻蚀玻璃，粘片，ESD issue？

干法刻蚀结束后，玻璃粘附在下电极上难以脱离，都是有哪些原因呢，还有刻蚀过程中是ESD异常，欢迎大家给出宝贵意见

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共4个回答

十八嫂.十八哥，工艺专业主任 2019-11-17回答

静电吸附，刻蚀完，加一个除静电的步骤

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暖岛.，班长 2019-11-17回答

来学习的

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救赎.，机修 2019-11-17回答

楼主在哪儿工作？

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谁为刀俎我为，设备维修 2019-11-17回答

静电吸附，刻蚀完，加一个除静电的步骤
小木虫同学，这么精彩的回答，我为啥才看见，估计错过了提醒。可是客户不等刻蚀完，有ESD提示时，就把电极停掉了，相当于电极挂了，下机

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