厚度为1-2nm的二维材料SEM表征问题？

最近我制备了厚度为1-2nm的二维材料，在光学显微镜下能看到二维材料的形貌是三角形，但是拍SEM的时候却什么都看不到，衬底用的是表面包覆二氧化硅的硅片，我用的是Zeiss Ultra Plus场发射扫描电镜，我看文献上用的Zeiss Leo 1530场发射扫描电镜就能拍的到，请问大家是电镜的问题导致SEM拍不到吗？