目前，国内普遍采用的渣浆处理方法有直接水解法和干燥水解法，近年来也相继出现新的萃取法和精馏法，但均未工业化。
直接水解法首先将需要处理的液体送入渣浆收集槽，然后用氮气将液体压出，送入渣浆淋洗塔并用10%NaOH碱液进行洗涤，此时废液中的氯硅烷与NaOH和水发生反应而被转化成无害的物质。随着多晶硅生产工艺的发展和设备的大型化，生产规模越来越大，由于直接水解法消耗水量大，已逐渐不再适用。
干燥水解法首先将含固量20%的渣浆加入干燥机，利用间接加热分离出氯硅烷并冷凝回收，使渣浆含固量达到80%左右，然后进入碱液水解槽中进行水解反应。目前，新建的多晶硅厂均采用干燥水解法处理渣浆，该方法可回收部分氯硅烷，减少水解量，从而降低水的消耗量和废气排放量。
