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SEM截面金属样品的处理？

需要拍摄带镀层的金属截面SEM，请问需要怎么处理？
已知有  1.粗磨、细磨、抛光、侵蚀
         2.Ar离子束抛光
         3.FIB
哪种方法好，怎么实现。急求

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共5个回答

如此良人，设备维修 2019-08-20回答

不差钱就fib，省事

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蜜糖，总工程师（研发） 2019-08-20回答

做过第一种，效果挺好的

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殊途.，销售 2019-08-20回答

之前遇到过的涂层样品都是用Ar离子抛光做的，有需要可以私信我

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冰言儿〆，设备维修 2019-08-20回答

Ar离子束抛光更快，FIB的话要看你看的样品区域多大了

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薄荷冰糖，呵，销售 2019-08-20回答

这个得看镀层的厚度咋样，FIB是成功率最高的。还有个办法就是在现有镀层上面再镀一层比较厚的镍，再用第一个办法，也能做出来。

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