M-S曲线测试实际上就是测样品在单一频率和不同电位下的阻抗，将阻抗虚部转换成电容，这个电容对不同电位作图就得到M-S曲线。
因此，凡能测阻抗的电化学工作站都可以测M-S曲线，在软件菜单上很容易找到M-S测量功能的的。
电解液，一般选择无腐蚀的中性电解质溶液，Na2SO4经常被选用。
阻抗频率，大多选1kHz，也可以选2-10KHz。
电位扫描范围：如果不知道半导体膜的N- or P-type, 初步扫描可以将电位范围选大一些，以开路电位为参考点，左右1V，根据曲线情况，当知道半导体类型后，再缩小扫描范围。电位扫描速度一般10mV/s，就可以了。
如果对M-S一定知识都没有，最好去看学点基本知识。
