能帮忙推荐下膜厚测试仪（台阶仪，椭圆偏振仪），主要用于教学？

台阶仪的话dektakXT还是可以的，重复性5埃，从10nm到几百微米效果都不错，软件界面适合教学演示，可以站内我

关键是看你测量的材料，透明程度，像一些不透明金属薄膜一般用四点探针电阻测量方法确定膜层厚度，如果透明材料一般有科磊的，Filmetrics，椭偏仪属于那种精度非常高的一种，一般是作为膜厚的厚度标定标准使用，意思就是他的测量精准度要比其他类型光学膜厚仪的精准度要高，所以椭偏仪可以作为比它精准度底的定标使用。这取决于你需要的材料要求，多向供应商了解一些精度范围即可

您好，KLA的台阶仪重复性是4A，精度0.1A，精度更高，稳定性更好，推荐您使用KLA的台阶仪。