材料科学

磁控溅射 Cu Al 求助？

磁控溅射镀铝和铜时，出现了一个问题，辉光的时候，靶材发红。

本底真空6×10-4Pa，工作压强 2.1Pa，氩气流速：5.3

原先的时候，铜和铝都好使，铜发绿光，铝发紫光。

现在不知道怎么回事，全都变红了，镀膜质量非常差。

诸位哥哥姐姐，有没有知道解决办法的，拜谢了！

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共9个回答

苦苦de甜甜de，化验员 2019-01-17回答

压强降低到0.5pa试试
还是不行。

还有一个情况，电压大。

加在靶材的电压，正常的情况下，电流0.4A，电压大概在300V

现在的情况下，电流同样为0.4A，电压升到了450V

拜托您给分析分析，拜谢

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黏人，化工工艺工程师 2019-01-17回答

压强降低到0.5pa试试

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一个爱上马的，给排水工程师 2019-01-17回答

真空再抽高一些，真空度还是低

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wul小仙女，设备工程师 2019-01-17回答

镀铝是想镀铝膜还是氧化铝呢？如果铝膜的话你的真空度还需要再低，不然会被氧化的。

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冬眠好感眉眼，工艺专业主任 2019-01-17回答

建议溅射之前先进行预溅射去除表面氧化层；同样条件电压变化过大可能与气压有关

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北方少年南方，工艺专业主任 2019-01-17回答

①检查真空度，是否达到真空要求。②检查靶材表面是否有氧化膜。③通入气体是否纯净。

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无期警官，设备工程师 2019-01-17回答

一般靶面辉光偏红，肯定是内部气氛不对了，或者漏气或者漏水。
但是你的本地真空进入-4了就很难解释。你沉积结束后立即关闭特气，观察真空度，如果真空比沉积之前好，那么是正常的，如果变差就能说明问题。

另，电压偏高很可能是靶材表面形成氧化物或氮化物了，你可以开腔门看看靶材表面状态。

由于不在现场，很多细节你需要多留意才好排除解决。

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酒肆茶馆，副矿长 2019-01-17回答

可能是气路漏气造成的。

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树敌，化工研发 2019-01-17回答

看看是否是气体不纯的原因

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