有哪位知道用什么检测半导体表面的氧含量?

元素分析元素分析是研究被测元素原子的中外层电子由基态向激发态跃迁时吸收或者放出的特征谱线的一种分析手段，通过特征谱线的分析可了解待测材料的元素组成、化学键、原子含量及相对浓度。元素分析针对材料中非常 ... 那个应该是鉴定成分的，我主要想表征表面氧的厚度，不用太精确的。谢谢！！

那个应该是鉴定成分的，我主要想表征表面氧的厚度，不用太精确的。谢谢！！... xps，拉曼之类的测试么？

你要测表面的氧，不太可能有什么简单的方法。普通的仪器只能做宏观分析，你这个算是微区分析了，Auger光电子能谱、SIMS可以得到材料深度和元素浓度的二维信息。你这个需要一边剥离一边测，就看你所谓的“表面”有多 ... 可能有100nm左右，如果只是简单的，不是很精确地测表面氧度，是不是可以考虑SEM，我看文献中有用这种方法的，相对而言简单点，如果用拉曼，eds之类的 不知道合适不，

可能有100nm左右，如果只是简单的，不是很精确地测表面氧度，是不是可以考虑SEM，我看文献中有用这种方法的，相对而言简单点，如果用拉曼，eds之类的 不知道合适不？... 你是什么基体？硅？