四碘化钛的结构、性质及应用是什么? ¹

背景及概述^[1]

四碘化钛是一种红色立方晶体，具有相对密度4.3，熔点150℃，沸点377.1℃的特性。它在空气中易吸潮并发烟，可以溶于冷水，但遇热水会分解。此外，它还能与氨、吡啶、乙酸乙酯生成2∶1的加合物。在石油醚中微溶，适中地溶于苯，较易溶于氯代烃和二硫化碳。在高温下，它可以与金属钛反应生成二碘化钛，也可以与二碘化钛反应生成三碘化钛。制备四碘化钛的方法包括金属钛与碘蒸气反应、碳化钛与碘反应以及四氯化钛与氢和碘混合物反应。

结构

应用^[2-3]

四碘化钛在金属钛的精炼等方面有广泛应用。其中一些应用包括：

1）使用原子层沉积的Ti膜来调整TiOx化学计量的过程。

该方法涉及在室温下在衬底上沉积高纯度且共形的钛。具体步骤包括：(i)将衬底暴露于四碘化钛；(ii)清洗衬底；(iii)将衬底暴露于等离子体；(iv)清洗衬底。重复步骤(i)至(iv)，并处理衬底上沉积的钛，以形成亚化学计量的氧化钛。也可以在衬底上沉积钛之前沉积氧化钛。处理过程可能包括将衬底暴露于氧源和/或对衬底进行退火处理。

2）使用四碘化钛前体低温沉积纯钛薄膜。

该方法包括在半导体衬底上使用原子层沉积循环，在低于约450℃的温度下沉积钛。每个循环包括：(i)将衬底暴露于四碘化钛；(ii)清洗衬底；(iii)将衬底暴露于点燃的等离子体；(iv)清洗衬底。重复步骤(i)至(iv)，直至在衬底上沉积了期望厚度的钛。每个循环可沉积约厚度的钛。

主要参考资料

[1] 无机化合物辞典

[2] CN201510514930.3使用四碘化钛前体低温沉积纯钛薄膜的方法和装置

[3] CN201510512616.1使用原子层沉积的Ti膜来调整TiOx化学计量的方法