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化学学科

AZ9260的刻蚀比？

本人新手，想要做ICP刻蚀硅的实验，刻蚀深度在15微米，老师说刻蚀的比较厚，推荐用AZ9260，但是不知道他的刻蚀比多少，我应该旋胶旋多厚呢，求助
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共2个回答
十只小萝莉，设备工程师 2020-06-18回答
不需要那么厚，

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十八嫂.十八哥，工艺专业主任 2020-06-18回答
不需要那么厚，
请问你了解AZ9260的光刻工艺吗，能交流一下吗，一直做出来效果不理想

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