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AFM测试数据为spm格式，求助请问怎么打开呀?

新测了AFM数据，保存的数据格式为spm，我安装了相应的NanoScope Analysis 1.5软件，可是还是打不开呀，请教各位大神们，我该怎么办呀，怎么才能把数据读出来呀
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共1个回答
十只小萝莉，设备工程师 2019-05-14回答
这个是原始数据，最好在AFM测试软件中转换成数据处理软件可读取的文件。
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