EDS测试含量为负值？

求助求助：做SEM时做了mapping，其中一种元素分布比较少，又做了EDS后该元素含量直接为负的了
所以就是没有这种元素了嘛，好忧桑啊~

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共2个回答

测试的是什么元素，EDS测试较轻的元素含量是不准确的（如C、N、O等），尤其是一些老设备。同时你要测的元素是只存在于表面还是整体都有以及分布均匀状况都会影响EDS测试结果，建议采用XPS测试元素含量，多测试几个点取平均值

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EDS是半定量方法，测不准。金属元素定量还是考虑ICP之类。元素分布只能是换仪器再测测，有时候换台电镜，结果就好很多。

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