甲基三氯硅烷是一种刺鼻气味的无色液体，蒸汽比空气重，可能沿地面流动，造成远处着火。其燃烧时分解，生成氯化氢。与强氧化剂急剧地发生反应。与水和潮湿空气急剧地发生反应。
三甲基氯硅烷在化学合成及药物合成中被广泛用于官能团的保护基，还可在石油生产等工艺中用作有机硅高分子聚合物的封口剂，起到调节高聚物分子量的作用。
一种三甲基氯硅烷的制备方法，其特征在于，将六甲基二硅氧烷、双（三氯甲基）碳酸酯和催化剂加入至溶剂中，得到反应混合液，向所述反应混合液中加入引发剂，进行反应，反应结束后经后处理即可得到三甲基氯硅烷。
短期接触三甲基氯硅烷对眼睛、皮肤和呼吸道具有腐蚀性。食入有腐蚀性。吸入可能导致肺水肿。接触可导致死亡。
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