涂多少量呢，涂hmds的原理是什么呢...
如果是硅基底的话，静置在空气中容易被氧化而出现一层二氧化硅膜，这层膜是亲水性的（含有氢氧根离子）。而光刻胶的特性是疏水的（含有氢离子），要使光刻胶粘附牢固，就要使基底表现出疏水性，HMDS就是这个作用了。HMDS通常蒸镀在基底表面，其中的成分会使氢氧根离子变成氢离子，从而使基底表现出疏水性，增加胶与基底的粘附性。
至于涂的厚度，我也没有具体数据告诉你，只是，一、HMDS有毒，使用务必小心；二、增加胶的黏附性也会增加去胶的难度，有利有弊。
以上，希望能够帮到你。如有错误，也请指出。
