在ITO上沉积金属剥离，图案出现毛刺到金属脱落问题？

我在硅上做ITO，然后在ITO上做了光刻，采用的胶是AZ5214，转速是4000，光刻之后图案完好。随后用电子束蒸发长金属，金属厚度是10纳米的钛，180纳米的铝和60纳米的金。最后用丙酮剥离，剥离过程中图案出现很多毛刺，超声15秒图案掉了，请问大家知道是什么原因吗？