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求助！！薄膜厚度有什么测量方法呢？

镀的薄膜因为和基体硬度不同，没办法磨平，有什么办法能够测量膜厚呢，大概几十微米厚！谢谢啦

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共6个回答

苦苦de甜甜de，化验员 2019-06-09回答

可以呀

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十一，化工研发 2019-06-09回答

显微镜足够了，主要是要磨抛好

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三分满分，销售 2019-06-09回答

SEM看一下截面
如果薄膜不平也可以看得到厚度吗亲，就是在光镜下都没办法成像那种

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善变野性，设备维修 2019-06-09回答

最常见的就是台阶仪和SEM，一些光谱分析，像x射线反射，椭圆分析仪等也可以测出薄膜厚度。

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故俗，化工研发 2019-06-09回答

SEM看一下截面

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温存余温，销售 2019-06-09回答

红外测厚仪、TEM测的方法和SEM

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