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磁控溅射镀铝膜?

磁控溅射度铝膜 氩气瓶好像漏气了 测得表面镀膜有很多氧元素 是不是镀上很多氧化铝膜 纯铝膜是银白色发光吗 之前镀的膜是黑灰色 颜色很重  和镀高温胶上的一个颜色 纯铝膜应该是什么颜色正常 氧化铝膜是什么颜色的 被机器快搞死了 膜都不厚 300nm之内




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常规的铝膜是呈现银白色,我看你上图的载玻片上贴胶带的那个照片,就差不多。
如果有少量的氧掺杂,银白色会变暗淡呈银灰色,如果氧含量再多一点比如2%氧含量,膜会呈黑色,为氧化亚铝AlOx
如果氧气继续增多,会形成氧化铝,为透明色,比如氧含量15%。

镀铝的时候,你需要注意提高真空度以及特气纯度;同时基片温度和溅射功率也会对反射率有一定的影响。
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