AFM数据用Nanoscope分析软件安装问题？

别人用Bruker ICON给测的数据，格式为spm， 回来后用仪器上的分析软件安装后也打不开，弹出一个窗口，内容为：
Cannot open F:/sm43.spm for an unknown reason. Verify the file is a valid Nanoscope, SIS or NanoDrive file.
请大家帮忙看看这个问题如何解决，多谢了。