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硅片基片上镀铜?

求助,各位电化学前辈,如下:? ?? ?【目的】:在溅射好一层铜的硅片(SiO2/Si,溅射后得到Cu/Ti/SiO2/Si),准备镀一层铜,加厚铜的厚度;? ?? ?【我的做法】:直接用最简单的方法(设备有限,只有恒流稳压电源),用磷酸+聚乙二醇(400),正极放铜,负极放硅片(溅射好金属的)电镀;? ?? ?【产生的问题】:厚度感觉上不去;时间增长,铜表面从金黄色变得越来越暗褐色;? ?? ?【目标】:镀一层【光亮的】【一定厚度的】【整平的】铜,最后要放在高温下(1024℃)反应,接近铜的熔点;? ?? ?? ?? ?? ?? ?? ? 所以,保证铜的厚度,不然会露出铜下面的金属和硅片;希望各位大牛给予帮助,小弟对此领域尚属空白,若能就目标制定新的镀铜方案和配方,仍然感激不尽!!!
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共7个回答
用磷酸+聚乙二醇(400)?我不太确定你这样做的是不是你这个行业通用的做法。镀铜我们一般用硫酸铜200g/L,硫酸80,氯离子100PPM,再加一些光亮剂,电流效率98%左右,大概一分钟可以镀一个微米。如果你特别强调厚度均匀 ... 嗯~谢谢回复,我最终还是酸镀了!配方用电镀手册里面的一种,刚好实验室有对应光亮剂!可是,为嘛,又有问题了···,和硅片粘接力好差···,
1L溶液中含:硫酸铜8g、edta-2na 18g、甲醛10ml、联吡啶10mg、PEG 10mg??NaOH---PH=12.5温度50浴中放置1h得4-5微米铜层做好了给分哦 经典化学厚铜配方~~~不过加厚不太好,一般这个配方镀2微米,加厚用酸性电镀
1L溶液中含:硫酸铜8g、edta-2na 18g、甲醛10ml、联吡啶10mg、PEG 10mg??NaOH---PH=12.5温度50浴中放置1h得4-5微米铜层做好了给分哦
嗯~谢谢回复,我最终还是酸镀了!配方用电镀手册里面的一种,刚好实验室有对应光亮剂!可是,为嘛,又有问题了···,和硅片粘接力好差···... 不好意思,我想请问下,你酸度的电流密度是多少,阴极阳极间距离是多少呢,还有为什么我在硅片上镀铜,到后来,铜都被腐蚀了
我这有个无电沉积的配方:A溶液 24mM CuSO4 + 10 mM NiCl + 300mM 甲醛B溶液 250mM NaOH + 160mM 酒石酸钾钠1:1 混合基片浸入,室温静置
用磷酸+聚乙二醇(400)?我不太确定你这样做的是不是你这个行业通用的做法。镀铜我们一般用硫酸铜200g/L,硫酸80,氯离子100PPM,再加一些光亮剂,电流效率98%左右,大概一分钟可以镀一个微米。如果你特别强调厚度均匀性,就把硫酸铜与硫酸的浓度翻过来。
我这有个无电沉积的配方:A溶液 24mM CuSO4 + 10 mM NiCl + 300mM 甲醛B溶液 250mM NaOH + 160mM 酒石酸钾钠1:1 混合基片浸入,室温静置 这是化学镀是吧?嗯,材料得一个个买,有丢丢麻烦···
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